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包大人很忙,解决FFU三个最大问题

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点击数:   录入时间:2012-06-01 【打印此页】 【关闭
包大人很忙,解决FFU三个最大问题

是净化系统必备的部件,净化设备在早期就已经发展,然而FFU停滞不前!

 

FFU在很长的时间没有得到广泛的发展呢?究其原因:

1.压力平衡问题,在很大的静压箱里,各不同角落的风机是否能得到均衡的压力,这在当时也是不能够得到保证的;

2.噪声较大问题

3.维护问题FFU本身造价就比较高,如果它的电机寿命不能保证的话,更换又会带来附加投资。

 

以上三大原因正是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。

1984年通过研究发展。

1.随着自动控制的发展,监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。

2.首先是噪声问题得到了控制,大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下,符合工业厂房的标准。

3.最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。

 

科技没有止步,随着半导体电子技术的发展,越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。给FFU带来契机,FFU系统越来越稳定,有了自身的优势特点:

1、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。

2、减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。

3.节约空间。相比较RCU+HEPA系统,FFU+DCC+MAU系统占用送风静压箱内较少层高,且基本不占用洁净室内空间。而RCU不论是吊挂在天板上方还是设置在洁净室,均占用不少空间。

4.灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

5.可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。

6.负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。

 

洁净室FFU的应用
 

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